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基板尋邊破片檢查系統(tǒng)
利用光學(xué)演算的方式，將在設(shè)備產(chǎn)線上流動(dòng)搬送的基板進(jìn)行檢查?？梢詸z出基板長(zhǎng)邊（或短邊）（視架設(shè)的方式）之異常。相關(guān)細(xì)節(jié)，請(qǐng)來(lái)信或來(lái)電討論之。
